ASM LVC-414-3 54-107950A15 एक उच्च परिशुद्धता वाला लिक्विड वेपर मास फ्लो कंट्रोलर है जिसे सेमीकंडक्टर वेफर प्रोसेसिंग उपकरणों, विशेष रूप से केमिकल वेपर डिपोजिशन (CVD) और एटॉमिक लेयर डिपोजिशन (ALD) टूल क्लस्टर में एकीकृत करने के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह मॉड्यूल एक बुद्धिमान उप-घटक के रूप में कार्य करता है जो वाहक गैसों के सटीक मास फ्लो को मापता और नियंत्रित करता है, जब वे रासायनिक बब्लर्स से गुजरते हुए प्रीकर्सर डोपेंट को प्रोसेसिंग चैम्बर में अवशोषित और वितरित करते हैं। मजबूत, उच्च-शुद्धता वाले आंतरिक रासायनिक प्रतिरोधी गैस मार्गों और एक एनालॉग/डिजिटल नियंत्रण इंटरफ़ेस से निर्मित, LVC-414-3 प्रीकर्सर संघनन को रोकता है, अत्यधिक दोहराव योग्य वाष्प-से-गैस सांद्रता अनुपात बनाए रखता है, और महत्वपूर्ण क्लीनरूम वैक्यूम वातावरण में फिल्म की एकरूपता और प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करता है।

मानक परिचालन लॉजिक पावर सप्लाई: ±15V डीसी

कमांड/सेटपॉइंट इनपुट इंटरफ़ेस: 0 से 5 VDC एनालॉग

आउटपुट प्रवाह निगरानी इंटरफ़ेस: 0 से 5 VDC एनालॉग

परिचालन परिवेश तापमान: 5°C से 50°C

अधिकतम सिस्टम दबाव रेटिंग: 10 बार

रिसाव अखंडता मानक: ≤ 1 × 10⁻⁹ atm·cc/sec हीलियम

एनीबस (गेटवे)

औद्योगिक निम्न-आवृत्ति स्क्रीन

रिमोट इनपुट/आउटपुट मॉड्यूल (आरटीयू)

औद्योगिक नियंत्रण संबंधी सहायक उत्पाद

औद्योगिक पीसी (आईपीसी)

मानव मशीन इंटरफेस

प्रोग्रामेबल लॉजिक कंट्रोलर (पीएलसी)

औद्योगिक उपयोग के लिए कम क्षमता वाली हार्ड ड्राइव (एससीएसआई)

6ES7314-1AF11-0AB0

6ES5460-4UA11

25X8164C1L 6

IC693ALG391

6ED1052-1FB00-0BA6

6ES5460-4UA12

IC754VSI12CTD-KJ

IC693MDL753

6SL3210-1KE22-6AP1

6GK7342-5DA03-0XE0

आईएस210बीपीपीसीएच1एसीए

DS200TCEAG1BTF

6ES7307-1EA00-0AA0

6ES7365-0BA01-0AA0

IS200EPSMG1AED

यूएमटी162-ए

6ES7313-6CG04-0AB0

6ES7193-4CB30-0AA0

IC752SPL013

आईएस200टीआरपीजीएच1बीडीई

3TK2824-2BB40

6ES7193-4CE10-0AA0

IC693PWR321AA

आईएस200टीआरएलवाईएच1बीजीजी

6ES7155-6AU00-0CN0

6ES7350-2AH01-0AE0

आईएस215वीप्रोएच1बीई

IS200EPSMG1ADC